本发明提供一种晶圆键合对准视觉系统及自动对焦方法，涉及半导体加工技术领域，包括：相互之间通过光纤连接的近红外光源和照明系统，反射镜和分光镜，反射镜和分光镜平行设置，反射镜设置在照明系统的出光口，近红外色散显微物镜，设置于分光镜的下方；上...

本发明提供一种晶圆键合视觉系统及晶圆键合对准方法，涉及半导体加工技术领域，包括：近红外光源，包括第一近红外光源和第二近红外光源，其出光口分别设置滤光片；照明系统，第一近红外光源和第二近红外光源的出光口通过光纤连接至照明系统；反射镜和分光...

本发明提供一种色散显微物镜，涉及显微成像技术领域，所述色散显微物镜自出射侧至物侧依次包括：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜；所述第一透镜与第二透镜胶合成一组双胶合透镜，所述第五透镜与第六透镜...

本发明提供了一种色散显微物镜，涉及显微成像技术领域，所述色散显微物镜自出射侧至物侧依次包括：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜；其中，所述第四透镜与所述第五透镜胶合成一组双胶合透镜；且满足以下关系式：0.001≤...