本发明公开一种整形光斑连续可调的激光整形加工装置及其调节方法，其中，激光整形加工装置包括：激光加工光源，其所发出激光加工光束为准直光束；透镜，其布置在激光加工光源之前，用于将激光加工光束转换为点光束，作为待整形光束；整形器件，其布置在透...

本发明公开一种基于三反光学系统的光束旋转装置及激光加工系统，其中，基于三反光学系统的光束旋转装置包括三反光学系统和旋转机构，三反光学系统包括第一反射镜、第二反射镜和第三反射镜，第一反射镜用于将其入射光全反射至第二反射镜，第二反射镜用于将...

本发明公开一种基于旋转波片的激光功率采样装置及方法。其中，基于旋转波片的激光功率采样装置包括分光装置、波片和激光功率探测器；分光装置设置在入射激光的光路上，用于将入射激光分为加工光路和探测光路；波片设置在入射激光位于分光装置之前的光路上...

本发明公开一种整形光束的旋转跟随光学装置及激光加工系统，其旋转跟随光学装置中，整形光束先经道威棱镜的第一斜面反射至反射镜，再经反射镜反射至道威棱镜的第二斜面，最后经道威棱镜的第二斜面反射后输出，且输入道威棱镜的整形光束的光轴、输出道威棱...

本发明涉及超快激光微纳加工技术领域，尤其涉及一种激光切割透明脆性材料的裂纹诱导方法，包括以下步骤：S1、生成多点贝塞尔光束：S11、生成贝塞尔光束；S12、对贝塞尔光束进行压缩整形，同时在贝塞尔光束的光路上对其进行分束整形；S2、将多点...

本发明公开一种激光合束切割涂层玻璃的方法，包括如下步骤：S1、构造复合光束：生成两路激光束，使其一激光束转变为贝塞尔光束，并将其射入4f系统，将另一激光束引入4f系统，使其与4f系统中的贝塞尔光束进行合束，形成复合光束射出4f系统；S2...

本发明公开一种激光加工的自动对焦装置及方法。其装置中，激光加工组件包括导光镜和物方聚焦镜，入射激光经导光镜反射至物方聚焦镜聚焦后射向样品表面；激光对焦组件包括分光调制器、像方聚焦镜、CCD相机和计算机，分光调制器用于将样品表面的反射光分...

本发明公开一种锥度可控的激光开槽加工装置及方法。其装置中，激光出射装置用于形成入射激光；光束整形系统设置在激光出射装置后，用于将入射激光整形为多光束；光束平移系统设置在光束整形系统后，用于将多光束平移变换至光束聚焦系统前，其中，光束平移...

本发明公开一种多点贝塞尔光束玻璃打孔装置及方法。其中，玻璃打孔装置包括激光出射装置、锥透镜、4f系统、聚焦镜和位移台，激光出射装置形成入射激光，锥透镜将入射激光转变为贝塞尔光束，贝塞尔光束射入4f系统后，将经过透射式整形器件，最终射出4...