本发明涉及超纯水制取设备技术领域，公开了一种超纯水机的内部系统清洗消毒装置，包括原水罐，所述原水罐的一侧设置有原水泵，所述原水泵的输出端设置有机械过滤器，所述机械过滤器的一端设置有消毒液罐，所述机械过滤器的一侧设置有多介质过滤器，所述多...