本发明的目的在于提供一种用于微机电(MEMS)共振器的改进的结构。根据本发明的第一方面，按照本发明的共振器结构具有与给定的机械振幅相结合的特征振荡频率，所述共振器结构通过将适于振荡的第一元件(1)以及适于振荡的第二元件(2)锚定在位于该...

一种装置（100），从振动和/或应变中采集能量并且使用电容性元件（102a、102b）和压电元件（105）这两者。操作原理是平面外电容性采集器，其中用于电容性元件的偏置电压利用压电元件（105）产生。该装置在电容器板（102a、102b...

本发明涉及用于测量角速度的测量装置，更具体地，涉及振动微机械角速度传感器。在本发明的角速度传感器中，质量块支撑于传感器的框架处。

本发明涉及一种用于测量角速度的测量仪器，更具体地涉及一种振动型微机械角速度传感器。本发明的角速度传感器包括至少两个振动质量块结构(1)、(2)、激励结构(3)、(4)以及耦合跷跷板式弹簧(6)、(7)。本发明旨在提供一种改进的传感器结构...

本发明提供一种微机械谐振器，其包括两个质量块，所述两个质量块沿共同轴的方向通过弹性结构而耦合，所述弹性结构包括用于将连接至质量块的至少第一杆与沿运动轴方向延伸的第二杆耦合的弹簧，所述弹簧布置成沿垂直于运动轴的运动方向的方向弯曲。本发明还...

本发明涉及用于测量角速度的测量装置，更具体地，涉及振动型微机械角速度传感器。本发明的角速度传感器适于测量相对于两个轴或三个轴的角速度，并且所述角速度传感器的至少两个振动块体（３４～３６、５２～５３、７１～７５）适于通过共同模式而被激发至...

本发明涉及用于测量角速度的测量装置，更具体地，涉及振动微机械角速度传感器。在本发明的角速度传感器中，质量块借助于非对称的弹性结构（１）、（２）、（３）、（４）、（２２）、（２４）支撑于传感器元件的框架处，以此方式，由弹性结构（１）、（２...

本发明涉及微机械谐振器的设计，更准确地涉及微机电系统（ＭＥＭＳ）谐振器的设计。本发明提供了一种微机电系统（ＭＥＭＳ）谐振器的改进设计结构，其中，弹簧元件（３）、（２３～２４）、（２７～３０）的宽度大于电极指（５～９）、（２５～２６）、（...

本发明涉及一种用于测量角速度的测量装置，更具体地，涉及振动微机械角速度传感器。在本发明的角速度传感器的方案中，质量块借助于具有非正交的主轴和次轴的弹性结构被悬挂着，从而在检测谐振器中引起与主运动同相的测试激发，并且借助于相位检测器从主运...

本发明关于用于测量物理量如加速度、角加速度或角速度的测量装置，更精确地是关于微机械运动传感器。本发明运动传感器元件的晶片平面内的面积小于被方形切割且翻转９０°的运动传感器元件的面积。相应地，本发明运动传感器元件（该元件已翻转９０°）的高...

本发明涉及一种制造硅传感器结构的方法以及一种硅传感器。根据该方法，通过在单晶硅薄片（１０）内蚀刻开口来形成至少一个弹簧元件轮廓（７）和至少一个与弹簧元件结构（７）连接的测震质量（８）的步骤。根据本发明，延伸通过该硅薄片深度的开口和沟槽（...

一种用于加速度测量中的测量装置，更具体地涉及电容性加速度传感器。根据本发明的电容性加速度传感器包括支承在旋转轴线（７）处的加速度传感器的可移动电极（５），在根据本发明的加速度传感器中利用了几对电极，用根据本发明的加速度传感器结构实现了对...

一种用于加速度测量中的测量装置，更具体地涉及电容性加速度传感器。根据本发明的电容性加速度传感器包括支承在旋转轴线（７）处的可移动电极（５），根据本发明的加速度传感器的该对电极中的电容变化被增强。根据本发明的加速度传感器结构使改进基于旋转...

本发明涉及物理测量中使用的测量设备并且更具体地涉及电容性传感器。在根据本发明的传感器中，固定电极（３），（４），（１２），（１７－２０），（２７－２８）的形状是阶梯状的。借助于本发明，得到用于制造具有改良线性的电容性传感器的方法，以及适...

本发明涉及在测量角速度中使用的测量装置，并且更具体地，涉及振荡微机械角速度传感器。在根据本发明的角速度传感器中，通过弹簧，或者通过弹簧及刚性辅助结构，使测震质量（１，２，３６，３７）附接到支撑区域，其给予质量（１，２，３６，３７）相对于...

本发明涉及用于测量角速度的测量装置，并且更具体涉及振荡微机械角速度传感器。在根据本发明的角速度传感器中，关联测震质量（１）、（９）、（１０）、（２０）、（３０）、（３１）的边缘提供至少一对电极，该电极对与质量（１）、（９）、（１０）、（...

本发明涉及用于测量加速度的测量装置，更具体而言涉及电容式加速度传感器。本发明的目的是提供一种改进的制造电容式加速度传感器的方法，并且提供一种电容式加速度传感器，其适合于在小型电容式加速度传感器方案中使用，并且特别适合于在测量关于若干条轴...

本发明涉及用于测量加速度的测量设备，并且更特定地涉及微机械加速度传感器。本发明试图提供使用微机械加速度传感器用于测量导向到三个或两个维度的加速度的改进的方法，以及改进的微机械加速度传感器。使用本发明，在持续使用中能够监测传感器的功能的可...

本发明涉及微机电元件，例如用于测量例如加速度、角加速度、角速度或其它物理量的微机电测量仪。本发明的微机电元件包括由覆盖部件（２４）、（２８）、（３３）、（４１）、（４７）、（４８）密封的微机电芯片部件（４６）、（６０）以及至少一个电子电...

本发明涉及微机电元件，比如用于测量例如加速度、角加速度、角速度或其它物理量的微机电测量仪。本发明的微机电元件包括由覆盖部件（２４）、（２８）、（３３）、（４１）、（４７）、（４８）密封的微机电芯片部件（４６）以及相称地相互结合的电子电路...