封装的等离子敏感性器件的制造方法。该方法包括：提供与基材相邻的等离子敏感性器件；使用选自非等离子基方法或改进的溅镀方法的方法在该等离子敏感性器件上沉积等离子保护层；和沉积与该等离子保护层相邻的至少一个阻隔堆叠体，该至少一个阻隔堆叠体包括...

本发明提供一种用于将多层涂层沉积到衬底上的工具。在一种配置中，该工具包括工作在压力控制或温度控制环境的至少一种下的直列式有机材料沉积台。在另外一种配置中，它还是同时包含直列工具和集束型工具特征的混合设计。在后一种配置中，至少一个沉积台被...