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VG系统有限公司专利技术
VG系统有限公司共有2项专利
光谱学和成像系统技术方案
本发明公开了一种用于经由光谱学和/或成像表征样品的设备和方法。所述设备包括用于成像或光谱学的第一检测器、用于成像或光谱学的第二检测器以及环形电容器型静电能量分析仪。所述环形电容器型静电能量分析仪包括第一和第二入口孔,所述第一和第二入口孔...
可转换的气体团簇和原子离子枪制造技术
在此提供了一种可转换的离子枪,该离子枪包括:用于产生气体团簇的一个气体膨胀喷嘴(4);用于电离这些气体团簇和气体原子的一个电离室;以及一个可变(优选地一个磁性扇区)质量选择器(50),该可变质量选择器用于质量选择这些电离气体团簇和电离气...
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