提供一种通过蚀刻来制造元件（１）的方法，该元件包括基片（２）和由基片支持的导电线路结构（３），该导电线路结构是通过局部蚀刻掉由基片支持的导电涂层（９）而形成的。蚀刻掩模（８）用来控制用蚀刻剂局部除去和保留导电涂层，它包括与在蚀刻期间要保...