提供了从基底表面上除去诸如阻焊膜之类的有机膜的方法和设备。此方法和设备，即使在高温下也是非常安全的，并且使用了可以循环并重新使用的处理液。将一般包括碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯或这两种化合物的混合液体的，特别是含有溶解臭氧的处理液与带有有机膜...