根据一实施例的用于托盘的磁铁夹，其用于相互固定可支撑基板下侧的下部托盘和可支撑基板上侧的上部托盘，可以包括：夹子底座，其固定在所述下部托盘；夹头，其可旋转地连接到所述夹子底座，并能够在固定所述上部托盘的固定位置与从所述上部托盘释放的释放...

根据一实施例的溅射装置，包括：工作台，以支撑具有细微图案的基板的状态旋转；靶材，与所述基板相对；以及切断部件，包括配置于所述工作台及靶材之间的切断主体，以及形成于所述切断主体并从所述靶材分离，以使行进至所述基板的成膜材料的至少一部分通过...

根据一实施例的磁控溅射装置的磁体集合体，其包括：磁轭；电磁体，配置在所述磁轭上，在垂直于所述磁轭的方向上具有不同的磁极；以及永久磁体，以与所述电磁体分隔的方式配置在所述磁轭上，并且，围绕所述电磁体的至少一部分。

本发明涉及控制可利用在磁控管溅射装置的磁铁的系统等，本发明的磁控管溅射装置的磁铁控制系统包括：驱动电源部；包括多个磁铁集合体的磁性产生部；及包括选择性地能够控制所述驱动电源部和所述多个磁铁集合体中一个以上开关的磁性控制部。

根据一个实施例，电磁铁组件的制备方法可包括以下步骤：制备包含突出部和包围所述突出部的外围部的框架；在所述突出部的外周配置线圈来包掩所述突出部；在常温和常压下加热具固体状态的热传导物质使其变为液体状态；将所述液体状态的热传导物质填充至所述...

本发明涉及可利用在磁控管溅射装置的磁铁等，本发明的磁控管溅射装置的磁铁结构体包括永久磁铁；及使围绕所述永久磁铁的线。

本发明涉及一种旋转夹持装置，其包括：基座；夹持器，可对于所述基座相对地平移运动及旋转运动；夹件，配置所述夹持器中，用于夹持基板；以及链接连杆，用于链接所述基座和所述夹持器。

本发明提供一种基板转移装置，所述基板转移装置包含：托盘，基板安装在所述托盘上；磁性转移部分，其安置在所述托盘下方，磁性地使所述托盘悬浮并藉由磁力转移所述托盘；导引单元，其导引所述托盘的转移而不接触所述托盘；以及间隙维持构件，其设在所述磁...