本发明涉及一种能够容易地调节容纳并支撑晶片的各机械手之间的间隔的半导体晶片输送装置，该装置包括：固定机械手和多个移动机械手，其分别支撑半导体晶片；固定框架，其为了支撑上述固定机械手而在一端与上述固定机械手配合；多个移动框架，其为了使上述...