天津应星聚和科技有限责任公司专利技术

天津应星聚和科技有限责任公司共有1项专利

  • 本发明属于石英玻璃制备技术领域,公开了一种基于二次加热的石英玻璃CVD合成方法及CVD沉积炉,所述合成方法包括以下步骤:步骤1,炉膛预热;步骤2,原料预热:将精馏后的四氯化硅液体蒸发为气态,然后通过质量流量计控制流量再从连接管道输送至厢...
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