锐诺光学科技武汉有限公司专利技术

锐诺光学科技武汉有限公司共有1项专利

  • 本发明涉及碳化硅晶体制备技术领域,具体公开了一种用于改善长厚碳化硅晶体质量的生长装置及方法;装置包括坩埚桶、隔热硬毡、过滤多孔桶、生长机构和分区加热结构;隔热硬毡设于坩埚本体内,形成多个独立的原料腔室,各腔室设有过滤多孔桶;生长机构包含...
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