瑞科硅公司专利技术

瑞科硅公司共有37项专利

  • 一种控制颗粒添加到流化床反应器的方法包括测量流化床反应器内在选定时间段内的压力波动,确定指示压力波动幅度的压力参数,将压力参数与特定的阈值进行比较,以及当压力参数偏离特定的阈值时控制颗粒添加到流化床反应器中。应器中。应器中。
  • 一种通过在搅拌或混合颗粒床中分解前体气体来生产颗粒或涂覆材料的颗粒的设备,包括反应器容器;致动器组件,该致动器组件包括至少部分设置在反应器容器中的轴;以及联接到轴并且能够与轴一起旋转的致动器元件。该设备还包括与致动器组件流体连通的前体气...
  • 一种可操作以输送分开的固体材料的进料器,包括导管和致动器。导管具有中空主体,该中空主体具有一定长度、第一端、与第一端相反的第二端和沿着长度的至少一部分限定的可移位主体段。可移位主体段至少具有能够定位在第一固定位置的第一可固定位置。致动器...
  • 公开了一种在用于生产涂布有多晶硅的颗粒材料的流化床反应器中使用的反应室衬里。所述衬里包括孔口和空腔,所述空腔被构造成容纳反应器部件,例如探针、传感器、喷嘴、进料管线、取样管线、加热/冷却部件等。在一些实施例中,所述衬里是由竖直堆叠的或侧...
  • 通过使吹扫气体穿过含有作为粗颗粒材料和细颗粒材料的混合物的引入材料的旋转转鼓的室,从粗颗粒材料和细颗粒材料的混合物中分离细颗粒材料。具体地,可以将多晶硅粉末与粒状多晶硅分离。在所述设备的气体运送部件相对于彼此移动的位置处,存在密封件,以...
  • 本发明公开了从粒状多晶硅和多晶硅粉末的混合物中分离多晶硅粉末的方法和设备。所述方法包括使多晶硅材料在滚动装置中滚动,同时使加湿的吹扫气体流过所述滚动装置。本发明还公开了包含颗粒状多晶硅的组合物,在一些实施例中,包含基本上由水组成的涂层。
  • 具有底部密封布置的硅沉积反应器
    本发明公开了用于制造高纯度硅包覆粒子的流化床反应器系统。容器具有外壳、所述外壳内向的绝缘层、所述外壳内向的同心内壳、和定位在所述内壳的内向并限定反应器室的同心衬里。所述内壳和衬里在它们的底部由O形环密封布置密封在一起,以防止所述反应器室...
  • 在热分解反应器中利用反射能管理温度分布的设备和方法
    本发明公开了用于热分解反应器中的反射表面和包含反射表面的反射器的实施方式。还公开了利用所述反射表面、或包含所述反射表面的反射器来管理在所述热分解反应器中生长的硅棒中的温度分布的方法。所述反射表面被构造成接收从化学气相沉积期间在硅丝上生长...
  • 本发明公开了在流化床反应器中使用的分段衬和过渡支撑环。具体地,公开了用于联结具有不同内横截面尺寸的管状区段,以制造在用于制造多晶硅覆层的颗粒材料的流化床反应器(FBR)中使用的分段衬的过渡支撑环。还公开了包含所述过渡支撑环的分段衬和包括...
  • 本发明涉及一种用于硅粉末管理的设备和方法,尤其是用于从颗粒状多晶硅和多晶硅粉末的混合物中分离出多晶硅粉末的方法和设备。所述方法包括在滚揉装置中滚揉多晶硅材料。所述滚揉装置包括滚揉机筒,所述滚揉机筒具有一个或多个提升叶片,所述一个或多个提...
  • 本发明公开了带有细丝夹持组件的化学气相沉积反应器。在西门子型反应器的反应仓室中,通过化学气相沉积形成多晶硅晶体棒。细丝夹持组件将竖直延伸的细丝紧固到沿着所述反应器的底面放置的电极上。细丝夹持组件包括安装在电极上并具有向上逐渐变细的侧表面...
  • 本发明涉及用于形成用在流化床反应器中的碳化硅的高纯度硅。本发明还公开了分段碳化硅衬,特别是在用于生产多晶硅覆层的颗粒材料的流化床反应器中使用的分段碳化硅衬,以及制造和使用所述分段碳化硅衬的方法。还公开了用于联结碳化硅区段的无污染粘合材料...
  • 本发明公开了用于流化床反应器的阻挡元件,特别地,公开了一种阻挡元件及其在流化床反应器中的使用方法的实施方式。所述阻挡元件包含多个接纳元件和多个连接所述接纳元件的连接元件,每个接纳元件包含定义了通路的管状壁,所述通路的大小适于接纳内部反应...
  • 本发明公开了分段碳化硅衬,特别是在用于生产多晶硅覆层的颗粒材料的流化床反应器中使用的分段碳化硅衬,以及制造和使用所述分段碳化硅衬的方法。还公开了用于联结碳化硅区段的无污染粘合材料。一个或多个所述碳化硅区段可以由反应粘合的碳化硅构造而成。
  • 本发明公开了分段碳化硅衬,特别是在用于生产多晶硅覆层的颗粒材料的流化床反应器中使用的分段碳化硅衬,以及制造和使用所述分段碳化硅衬的方法。还公开了用于联结碳化硅区段的无污染粘合材料。一个或多个所述碳化硅区段可以由反应粘合的碳化硅构造而成。
  • 本发明涉及用于流化床反应器中的分段碳化硅衬的无污染粘合材料。本发明还公开了分段碳化硅衬,特别是在用于生产多晶硅覆层的颗粒材料的流化床反应器中使用的分段碳化硅衬,以及制造和使用所述分段碳化硅衬的方法。还公开了用于联结碳化硅区段的无污染粘合...
  • 用于制备硅烷和氢卤硅烷的方法和装置
    本发明公开了在包括固定床催化再分配反应器的系统中通过反应性蒸馏来制备通式HySiX4-y(y=1、2或3)的硅烷和氢卤硅烷,其中所述固定床催化再分配反应器在操作期间可以被反冲洗。
  • 本发明公开一种用于减少或减轻多晶硅金属污染的方法和系统。本发明公开包含内表面至少部分地涂有包含弹性体微孔聚氨酯的内层的挠性合成树脂管的传送装置,用于与超纯粒状多晶硅的制造和产物处理程序相关联的流化床反应器操作中。使用管道实现多晶硅通过减...
  • 减少氢氯硅烷生产中的腐蚀和结垢
    本发明公开减少氢氯硅烷生产设备中硅化铁和/或磷化铁结垢和/或腐蚀的方法。向四氯化硅工艺流中添加足量的氢以抑制氯化铁(II)形成和减少硅化铁和/或磷化铁结垢、过热器腐蚀或其组合。还可以向所述四氯化硅工艺流中添加三氯硅烷。
  • 流化床反应器设备用的高温级钢
    本发明公开了一种用在加热过的硅沉积反应器中的反应室衬管的实施方案。所述衬管具有:上部;中部,所述中部包含不同于不锈钢合金的材料;以及下部,所述下部包含马氏体不锈钢合金。所述衬管的上部的组成与所述下部的基本类似。