一种使用磁控及非平衡式磁控物理溅镀多层覆合超硬薄膜之方法，其步骤如下：先载入被镀物，将被镀物处于真空环境，以电热器控制进行预先加热，并利用高电压电源供应器（Ｈｉｇｈ　　Ｖｏｌｔａｇｅ　　Ｐｏｗｅｒ　　Ｓｕｐｐｌｙ，ＨＶＰＳ）控制电压与温...

一种磁控及非平衡式磁控物理溅镀ＺｒＣＮ于微型钻头的方法，是使用磁控及非平衡式磁控物理溅镀方式，针对炉内温度、偏压、表面清洁、以及所导入气体的流量做良好的控制，将超硬膜溅镀在微小钻头上，以增加钻头本身的强度、耐磨耗度，以及表面光滑度，如此...