再生刻蚀废液的方法，其步骤包括在２０－５０℃将ＨＣｌ气溶于刻蚀废液并让ＮｉＣｌ↓［２］和ＦｅＣｌ↓［２］结晶，刻蚀废液含ＮｉＣｌ↓［２］，ＦｅＣｌ↓［３］和ＦｅＣｌ↓［２］，是由含ＦｅＣｌ↓［３］水溶液组成的刻蚀液刻蚀Ｎｉ或Ｎｉ合金而得...