随着装置的大型化，设置多个涂布头的门型构架的构架因热胀而变形，涂布位置的精度下降，从而引起不能准确涂布的问题。因此，在本发明中，构成为：将构架的一端侧做成固定，能够沿构架的长度方向移动的直动线性导轨支持另一侧，使得在构架中不产生由热胀引...

为了使进行大型基板的胶合的减压腔内的维护检查变得容易，且实现高精度的胶合，将在减压状态胶合２张基板的组装装置，作成分割为上下２个腔的构造，将在上侧腔内使一方的基板可自由拆装地保持的上台面、和在下侧腔内使另一方的基板可自由拆装地保持的下台...

基片之一通过吸引和吸附操作及装设在加压板内的粘合装置支撑；其上滴有液晶剂的另一基片通过吸引和吸附操作或通过粘合装置被支撑在一台板上，腔体内的压力被降低直到获得指定的减压水平，然后在使基片牢固接触位于下面的另一基片上的粘合剂之后增加压力，...

一种基板组装装置，使应胶合的基板彼此间分别上下地保持并相对，在进行定位的同时，缩短间隔，通过在至少任意一方的基板上设置的粘接剂，在减压状态的腔内将两基板胶合，其特征在于，将前述腔作成分割为上下的构造，将在上腔内使一方的基板可自由拆装地固...

本发明涉及微型流体芯片，该微型流体芯片将从多个液体供给口分别供给的液体导入微小流路，在微小流路中进行液体的混合、反应（化学反应），然后从液体排出口获得处理完的液体。该微型流体芯片，将从多个液体供给口分别供给的液体导入微小流路，在微小流路...

一种排水泵及水下轴承装置，排水泵（１００），具有：将安装于旋转轴（１）上的叶片（４）配置在泵壳体（２）内所形成的泵部（３０）和用混入了硬质粒子的扬水作为润滑剂并且具有支承旋转轴（１）的滑动轴承（５）的水下轴承装置。用硬质合金材料形成旋转...

涡轮压缩机具有压缩机主体、入口向导叶片装置、开度可变的放风阀，该压缩机主体压缩作动流体，该入口向导叶片装置具有设置于该压缩机主体的吸入侧的多个向导叶片，该放风阀设置于压缩机主体的吐出侧。在压缩机的吐出侧设置检测吐出压力的压力检测机构。将...

本发明提供一种单轴多级泵，具有多级设置有叶轮（２）的旋转轴（１）、支撑旋转轴的轴承（３１、４３）、以及将与叶轮推力相对向的平衡推力加在旋转轴上的平衡装置（８），在径向轴承中使用水润滑轴承，利用该水润滑径向轴承，借助平衡装置的平衡构件（２...

一种发动机驱动的涡轮式压缩机，包括入口导流叶片（２）及排气阀（１０），由于具有对应被压缩机所吸入的工作气体的温度和压力的、有关入口导流叶片最小角度的数据库，因此能够确保不发生喘振和较宽的工作范围。

本发明涉及具有静压轴承或轴推力平衡装置的泵装置，其可减少液体的内部循环量来提高泵的效率。该泵装置具备：配置在电机室（３０）的驱动用的电机（２０）、连接在电机上的旋转轴（２２）、安装在旋转轴上的叶轮（２３）、支撑旋转轴的轴承（２４、２５、...

一种涡轮型流体机械，其叶轮（３）的侧板与泵外壳（１）之间设置有具有密封功能的封口环部。该封口环部由叶轮侧板侧封口环（４）和在外壳的非回转体壁面侧设置的封口环（５）构成，封口环（４）构成在叶轮的吸入侧为小直径而在其出口侧为大直径的拥有至少...

一种工业用泵，设置在泵主体上的轴承旋转自由地支撑安装了叶轮的旋转轴的两端侧。与轴承相邻配置轴封装置。通过从外部导入的冷却水冷却轴封装置。在收容轴封装置的托架的内周面上通过热装来嵌合轴封壳。在托架与轴封壳的边界部通有冷却水。这样，省去了用...

本发明涉及以夹子隔开间隔夹持片状物的相对各边缘、使各夹子对相对的边缘移动来延伸片状物，而使其薄膜化的片状物薄膜成形装置。在该装置中，设与片状物的相对各边缘并行移动的多个移动体，分别在各移动体上设置可在各边缘方向移动的夹子，各移动体具有用...

一种混合液制造装置，具有输入混合液提供对象信息的输入部，保管混合液的多种原料的原料保管系统，从上述输入的混合液提供对象信息选择上述保管的原料的种类和量的产品信息系统，从上述原料保管系统取出上述选择的原料的送液部，混合从上述送液部供给的原...

一种薄膜粘贴方法，从基础薄膜层一侧，利用压接辊，对具有粘接性薄膜层和基础薄膜层两层结构的粘贴式形状的薄膜加压，将粘接性薄膜层一侧粘贴在基板上，该薄膜粘贴方法的特征在于：　　　　　将电荷供给粘贴式形状的薄膜的前端部，利用在两者之间起作用的...

一种螺旋压缩机，在壳体内具有形成朝轴向螺旋的螺旋槽的凸形转子和凹形转子，这两个转子由固定于各转子的定时齿轮保持着所期望的微小间隙地回转；　　　　其特征在于：该各转子在其各螺旋槽具有沿着其螺旋方向的微小深度的凹条。

在制造液晶面板时，存在利用尺寸为２ｍ的玻璃板进行制造的方法。在这种情况下，在基板面上涂布糊剂（粘结剂）的装置会大型化。因此，当为了缩短生产时间而提高涂布速度时，在拐角部等处会发生振动，由于这种振动的影响，会发生涂布精度降低的问题。因此，...