提供一种既可控制设备的规模、又可均匀地引导气流至基板架之间的半导体基板用存储装置。存储装置（１００）内的空间由侧板（１０４）、（１０５）、顶棚板（１０３）以及地面（２０２）所限定。存储装置（１００）内设置了装载基板的容器（１２０）的多层...

提供一种悬挂式升降搬运台车上的物品交接方法以及装置。该装置的结构是，利用悬挂式升降搬运台车的升降机构与其升降范围内沿水平方向进退的一对滑板（１０ｂｙ）、（１０ｃｙ）的作用，能够交换在处理工作台（５）的ＦＯＵＰ用搬入／搬出小舟（５ａ）上装...

一种堆垛器，包括可保管多个沿垂直方向以及水平方向排列的盒式存储器（３５）的架主体（７）；与架主体（７）平行敷设的轨道（２８）；可在该轨道（２８）上行驶的堆垛升降器（５）；以及用于将盒式存储器（３５）对堆垛器（６）搬入搬出库的传送小舟（１...

本发明提供一种垂直搬运装置，该垂直搬运装置中，升降输送机（５）包括回转平台（１７）与滚筒式传送带（１８）。滚筒式传送带（１８）支撑在回转平台（１７）上，并通过回转平台控制器（７）旋转回转平台（１７），使滚筒式传送带（１８）与接收物品或者...

多个输送设备沿着输送方向从第一建筑物的内部向第二建筑物的内部设置。多个连接机构连接每对相邻的输送设备，使得在第一建筑物和第二建筑物之间的相对位置变化的情况下，该输送设备以弯曲方式排列。