本发明的溶液处理装置，能够将被处理液分离成浓缩液和馏出液，并在使浓缩液中的高沸点有机溶剂的含量充分地增多的同时，使馏出液中的高沸点有机溶剂的含量充分地减少。一种溶液处理装置（1a），其特征在于，具备：处理塔（2），将被处理液（L1）分离...

一种NMP回收系统(1)，使包含NMP的含NMP气体与吸收NMP的水气液接触，所述NMP回收系统(1)具备：填充物(10A～10D)，它们相对于水具有浸透性，在滞留水的同时，浸透于内部的水因重力移动而向外部流出；含NMP气体流通机构(3...

提供一种溶剂的回收装置及溶剂的回收方法，即使不补充电子级的溶剂，也可从抗蚀剂剥离工序所排出的废液中，回收高浓度的溶剂。一种溶剂的回收装置（１），是从抗蚀剂剥离工序所排出的废液（Ｌ）中回收溶剂的装置，包括：一树脂成分除去装置（１０），除去...

浓缩排气中比水沸点高的物质的方法，其特征在于，由不穿过存在于塔板上的水、气体就从上部跑不掉的构造的塔板经多段设计构成的段塔或者填充了亲水性填充物的填充塔的下部，导入含有比水沸点高的物质的排气，另一方面，由塔上部供给水（通常是常温的水，无...