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日本瑞环化工株式会社专利技术
日本瑞环化工株式会社共有2项专利
由剥离液废液再生剥离液的方法和再生装置制造方法及图纸
本发明提供一种从剥离液废液中再生剥离液的方法和再生装置。所述再生方法,是从由液晶显示板的制造工序产生的抗蚀剂剥离液废液中分离除去其所含有的正型光致抗蚀剂从而再生剥离液的方法,其中,将相对于所述剥离液废液中所含有的光致抗蚀剂的质量为0.0...
从含多种金属离子的磷酸水溶液中获得精制磷酸的方法和装置制造方法及图纸
本发明提供从含多种金属离子的磷酸水溶液中获得精制磷酸的方法和装置。本发明的获得精制磷酸的方法,其特征在于,包括[1]晶析和共沉淀工序和[2]蒸发工序,所述[1]晶析和共沉淀工序,是使无机盐的结晶从含有多种金属离子的磷酸水溶液中析出,使金...
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