本发明公开一种无匹配(Matchless)等离子体源及其工作方法。一实施例的无匹配等离子体源可包括：检测器，与反应电路相连接，用于在所述反应电路端检测射频(RF)电压或电流；所述反应电路，设置在所述无匹配等离子体源的输出端；以及控制器，...