REC硅公司专利

REC硅公司专利技术

REC硅公司共有1项专利

制备氢氯硅烷的方法技术

本发明提供了一种通过使氢气与四氯化硅和／或氯化氢和硅反应来制备含氢氯硅烷的方法，其中所述硅的表面已经由一种或多种催化材料例如铜的化学汽相沉积法进行了改性。

最后更新日期：2012-04-11 18:40 访问量：287