本发明涉及流量测量技术领域，具体为一种面向MEMS热式传感器的气体流量自适应补偿方法，该方法利用一种包含微加热器、温度传感元件、辅助热传感单元和微扰动温度传感单元的传感器进行多维度补偿。本发明通过对微加热器施加多频热激励信号并进行频域分...

本发明涉及气体流量计技术领域，具体为一种层流稳定型微流道气体计量整流结构，包括整流罩、安装架、超声波换能器一和超声波换能器二，所述整流罩包括从左至右依次连接的段一、段二和段三，所述超声波换能器一通过安装架设置于段一内部，所述超声波换能器...