本发明公开了一种用于CVD设备主轴真空检测的检测装置及检测方法，其中装置包括：PM腔体模拟真空罩、第一转接头、第二转接头、真空波纹管以及氦检仪；PM腔体模拟真空罩一端与CVD设备主轴的主轴壳体安装基准面固定连接，另一端与第一转接头的一端...

本发明公开了一种用于CVD设备主轴精度检测的检测装置及检测方法，其中，检测装置包括：能够与CVD设备主轴的主轴壳体安装基准面固定连接，用于安装第一百分表和第二百分表的百分表支撑座；固定在百分表支撑座上，用于将表针与CVD设备主轴侧面贴合...

本发明公开了一种主轴架体精度调节方法，包括以下步骤：将静音线轨组件安装在主轴架体上；在水平基准检测平台对架体安装基准面进行水平精度检测并调节使其水平精度达到设定第一阈值；在水平基准检测平台上通过竖向基准检测平台对静音线轨组件的静音线轨竖...