本发明提供一种半导体干燥室排气管组，装设于半导体干燥室外部，主要包含一排气竖管结合多组排气横管，于排气横管上设有复数个导气管组，接设于半导体干燥室外部一侧面上，且与半导体干燥室内部导通，而排气竖管末端与抽风设备导接；其中，各导气管组的外...