磬宇苏州半导体科技有限公司专利技术

磬宇苏州半导体科技有限公司共有6项专利

  • 本发明涉及半导体设备技术领域,特别是涉及一种加湿型桶补气装置,包括桶体,设于桶体输入端的原料输送单元,连接原料输送单元与桶体之间的加湿组件,设于密闭式槽体输入端的纯水单元,密闭式槽体下半部为纯水舱,密闭式槽体上半部为喷雾舱,喷雾舱分别连...
  • 本发明涉及化学品设备技术领域,特别是涉及一种研磨液二合一供液器组,包括供液基座,一体式设于供液基座两端、连通供液基座设置的出液接口和进液接口,进液口在供液基座上设有两组,两组进液口分别为设于出液接口对侧的底液口、和延伸出供液基座设置的侧...
  • 本发明涉及半导体设备领域,特别是涉及一种自动混酸防呆装置,包括机架,设于机架内的混酸舱,与机架内混酸舱隔断设置的电控舱,设于机架前端面上的识别面板,识别面板覆盖混酸舱部分设有观测窗,识别面板覆盖电控舱部分设有混酸HMI和摄像头,摄像头和...
  • 本发明涉及化工设备技术领域,且公开了一种调配混酸装置及方法,其中的一种调配混酸装置包括:机壳,所述机壳的顶部设置有配料机构;搅拌机构,所述搅拌机构包括转筒、竖轴和多个搅拌轴,所述转筒转动连接在所述机壳的底部内壁上;温度监测机构,用于监测...
  • 本发明涉及半导体化学品设备技术领域,特别是涉及一种有机溶剂纯化回收装置,包括超纯水装置和用于存储电子级溶剂的存储罐,通过外界输送过来的溶剂输送至填充柱处利用填充柱内填充的阴阳离子交换树脂,对溶剂进行纯化提纯处理,进而使处理后的溶剂能够成...
  • 本发明涉及半导体化学品设备技术领域,特别是涉及一种化学品精准加药装置,阀箱与混合罐之间连接有连接管路,所述阀箱内设有计量罐,计量罐下方设有用于称重的磅秤,阀箱一侧设有电磁阀,磅秤与电磁阀之间电连接,计量罐上设有气动阀,磅秤与气动阀之间电...
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