青岛赛瑞得伟创电子科技有限公司专利技术

青岛赛瑞得伟创电子科技有限公司共有1项专利

  • 本发明涉及半导体材料制备技术领域,具体为一种晶格失配动态调控的液相外延生长方法及设备。具体内容如下:对衬底进行预处理,制备出衬底的微观坑槽,根据相图信息,制备均匀溶液;在多区控温外延炉中设定温度梯度,通过舟装置对衬底外延生长进行控制,将...
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