青岛聚合韶华智慧科技有限公司专利技术

青岛聚合韶华智慧科技有限公司共有1项专利

  • 本发明公开了一种全自动固晶机,包括:四个工位,分设于底板上方两侧以及前后侧,每个所述工位内均设置有工位盘,所述工位盘内设置有晶圆;其中,所述第一工位上设置有上下料设备,所述第二工位上设置有清洁标定设备,所述第三工位上设置有等离子活化设备...
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