本发明涉及研磨设备故障检测技术领域，尤其涉及基于机器视觉的晶圆研磨设备故障预测系统及方法，包括：基于晶圆研磨前后的设备研磨垫与晶圆的接触图像信息以及设备吸盘与晶圆的接触图像信息，对研磨设备与晶圆的接触协调性进行预测；基于设备研磨垫与晶圆...

本技术公开了一种晶圆研磨装置，涉及晶圆研磨技术领域，该晶圆研磨装置，包括防护套，所述防护套的上端设置有固定组件，所述固定组件的上端设置有下压盖，所述固定组件的上方设置有研磨盘，所述研磨盘的上端设置有变频电机，所述变频电机与移动顶板固定，...

本技术公开了晶片刷洗用输送装置，涉及晶片刷洗技术领域，该晶片刷洗用输送装置，包括接料箱，所述接料箱的上端设置有输送组件，所述输送组件的上端设置有刷洗组件，所述接料箱的内部中心处设置有变频电机，且变频电机的输出端带动输送组件转动，所述变频...