提供一种在正面具有沟槽部的金刚石半导体装置，其具备金刚石层、设置在所述金刚石层上的金刚石外延层、设置在所述外延层的上方的正面侧绝缘膜、以及设置在所述正面侧绝缘膜上的正面侧电极，所述正面侧绝缘膜具有与所述沟槽部的沟槽侧壁相接并填充到所述沟...