本发明涉及一种用于将至少一种材料的一个或更多个原子层沉积到基底上的反应器和方法。该反应器包括容纳喷淋头、基台和至少一个基底支架的反应室。该喷淋头包括至少一个气体出口，该至少一个气体出口被配置为提供至少一种材料的气流或至少一种材料的至少一...