本发明的晶圆干燥装置包括：腔室，侧面固定有第一旋转轴，上部形成有能够移动的第二旋转轴，且下部形成有第一排水口；倾斜臂，以连动的方式固定于上述第一旋转轴和上述第二旋转轴，并且下端部固定有安装至少2个晶圆的晶圆盒；第一喷嘴，在上述腔室内向上...