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PSI系统股份有限公司专利技术
PSI系统股份有限公司共有1项专利
适用几何相位光学器件的相移方式的相位检测装置制造方法及图纸
本发明公开适用几何相位光学器件的相移方式的相位检测装置。根据本实施例的一实施方式,提供相位检测装置,其特征在于,包括使具有通过干涉仪生成的不同的圆形偏振光的物体光及参照光相移的光学掩膜,上述光学掩膜包括:光学阵列,包括使上述物体光及上述...
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