本发明涉及微型传动技术领域，具体为一种基于MEMS纳米减速器和谐波减速器键合混合减速装置，包括；制备硅晶圆混合键合样品和SOI晶圆混合键合样品；将硅晶圆混合键合样品和SOI晶圆混合键合样品进行清洗与氧化处理；将经清洗与氧化处理后的硅晶圆...