一种晶圆定位环结构，包含研磨环、组接环，及定位单元。所述定位单元包括数个间隔设置在所述研磨环与所述组接环的其中之一的第一定位部，及数个间隔设置在所述研磨环与所述组接环的其中另一的第二定位部。所述第二定位部能分别与所述第一定位部可移离地相...