可以单独或组合地采用各种技术，以增强在处理基片与施加兆频声波能量之间的接触。按照新发明的一个实施例，使振动板与基片的一个表面紧密接触，同时清洗或处理流体接触另一个。按照本发明的可选择实施例，可以提供反射表面以使发出的能量反射回近场中并且...