本技术涉及一种氧化物薄膜。根据本技术的氧化物薄膜包括：单晶基板；及主氧化物层，所述主氧化物层层叠在所述单晶基板上并掺杂有异种金属元素，在使用透射型电子显微镜(TEM)的能量分散型X射线分析法(EDX)中，所述异种金属元素和构成所述主氧化...