磐石嘉和天津科技有限公司专利技术

磐石嘉和天津科技有限公司共有1项专利

  • 本发明涉及蒸发源领域,公开了一种高温线型蒸发源,包括:加热管,其管壁沿长度方向开设一排通气孔;石墨舟,设置于加热管内,且石墨舟与通气孔之间形成蒸发气体流动空间;加热系统,包括多根加热棒,多根加热棒围成鼠笼状并包围在加热管四周;隔热罩,套...
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