欧洲航空防务航天公司EADS法国专利

欧洲航空防务航天公司EADS法国专利技术

欧洲航空防务航天公司EADS法国共有1项专利

薄膜多层结构、包括所述结构的部件及其沉积方法技术

本发明涉及一种具有低磨损率和低摩擦系数的耐腐蚀薄膜多层结构，其包括：１～１０００段，每一段包括基于碳、硅和氢的２～１００层（Ａ，Ｂ）；以及任选地，功能表面层（ＦＳＬ）。本发明还涉及一种包括所述薄膜多层结构的部件和其沉积方法。

最后更新日期：2012-04-11 18:40 访问量：172