本实用新型关于一种装置，该装置包括至少一滚轮（２），用于传送一沉积系统中的基材（１）；及至少外罩构件（６），其中该滚轮可从基材收回，且该外罩构件被调适成至少部分保护该收回滚轮，以免受到沉积系统中出现的物质所污染。此优点可提高沉积系统的正...