欧瑞康太阳IP股份公司专利技术

欧瑞康太阳IP股份公司共有1项专利

  • 提供了一种用于纵向端部区域溅射靶改良应用的设备与方法。端部区域的腐蚀焦点得以拓宽,从而延长了靶材有效寿命。这就改善了效率并降低了浪费,因为可以在更大面积的中心区域上获得更多的靶材材料,而且靶材利用时间更长。
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