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欧瑞康梅塔普拉斯有限责任公司专利技术
欧瑞康梅塔普拉斯有限责任公司共有1项专利
真空电弧蒸发源及带有真空电弧蒸发源的电弧蒸发室制造技术
本发明涉及一种真空电弧蒸发源(1),其包括环形的磁场源(2)和阴极体(3),该阴极体(3)带有作为阴极(32)的蒸发材料(31)以用于在阴极(32)的蒸发表面(33)上产生电弧放电。此处,阴极体(3)沿轴向方向在第一轴向方向上由阴极底部...
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