本发明涉及具有由特定铝合金制成的转子叶片的涡轮分子泵的转子或定子。

本发明涉及一种其中气体轴承被涂覆硬层的真空泵，并涉及一种用于制备这样的真空泵的气体轴承的方法。

本发明涉及制备涡轮分子泵的转子或定子的方法，该转子或定子具有由特定铝合金制成的转子叶片。

本发明涉及一种用氧化物陶瓷层对由选自铝、镁、钛、铌、和／或锆、及其合金的阀用金属制成的制品进行涂布的方法，该氧化物陶瓷层由具有薄阻挡层作为朝向金属的边界层的金属形成，其表面已经涂有聚合物，其特征在于，所述聚合物通过真空涂布然后使二聚体聚...