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欧瑞康表面解决方案股份公司普费菲孔专利技术
欧瑞康表面解决方案股份公司普费菲孔共有1项专利
用于执行真空辅助的涂层方法的涂层腔,隔热板以及涂层方法技术
本发明涉及一种用于执行真空辅助的涂层方法的涂层腔(1),尤其PVD或CVD或电弧涂层腔或混合涂层腔。涂层腔(1)包括布置在涂层腔(1)的可调温的腔壁(2)处的隔热板(3,31,32,33)以用于调整在隔热板(3,31,32,33)与可调...
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