本公开涉及一种用于制造MEMS设备的分层结构的方法、一种作为通过该方法产生的分层结构的分层结构以及一种包括此类分层结构的MEMS设备200。对于该分层结构或该MEMS设备200，在制造过程中使用示例性起始衬底，该起始衬底形成机械有效功能...

本公开涉及一种制造MEMS设备的分层结构的方法、一种通过该方法制造的分层结构以及一种包括该分层结构的MEMS设备200(300、400、500)。对于分层结构，例如，在对功能层3进行结构化之后，在制造过程中提供高温固化步骤。功能层3的结...