光学检测设备包含投影光学系统、数字显微镜系统以及计算单元。投影光学系统配置以取得基板中的多个通孔结构的斜向投影影像。数字显微镜系统配置以取得2D干涉影像。计算单元电性连接投影光学系统与数字显微镜系统。计算单元配置以分析2D干涉影像以取得...