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欧美达应用材料科技股份有限公司专利技术
欧美达应用材料科技股份有限公司共有1项专利
旋转靶材制造技术
本发明提供了一种旋转靶材,其包含靶材体、背衬管及接合件,所述接合件设置于所述靶材体与所述背衬管之间,且所述接合件包含可压缩结构与导电导热胶,所述可压缩结构为可压缩毯或可压缩片。利用所述接合件接合靶材体和背衬管不仅能有利于简化旋转靶材的工...
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