本发明公开了一种用于给基板涂以聚合物层的等离子体室(11’)，该等离子体室包括第一电极组(14’)和第二电极组(14’)，该第一及第二电极组被布置于用于容纳基板的样品室的两侧，其中该第一及第二电极组包括多个电极层(141’,142’)，...