本发明涉及用于椭偏确定样品(12)的特性的方法，该方法包括以下步骤：‑将样品(12)定位在椭偏仪(10)中，其中，样品表面的测量区域的面法线(n)相对于椭偏仪(10)的参考轴线(z)倾斜，‑针对测量区域测量缪勒矩阵；‑根据使所测得的缪勒...