一种用于产生表示在井(51)中流动的流体(10)的局部相组成(O，W)的信号(u(t))的探针(11)，其包括：电绝缘材料的本体(13)，所述本体具有尖端(15)，所述尖端适于与所述流体(10)接触；至少两个导电材料的电极(14a，14...

本发明涉及一种流体压力测量传感器(11)，它包括微机电系统(MEMS)芯片(23)。该MEMS芯片(23)包括：两个侧壁(56)；灵敏隔膜(49)，该灵敏隔膜与所述侧壁(56)连接；以及密封空腔(9)。侧壁(56)和灵敏隔膜(49)的外...