本发明公开了一种倒装芯片底发射的垂直腔面发射激光器封装及其制作方法，其包含:形成一垂直腔面发射激光器柱阵列；对垂直腔面发射激光器柱阵列涂布一介电层，介电层填满柱体之间的沟槽，形成垂直腔面发射激光器柱阵列并覆盖柱体；对垂直腔面发射激光器柱...

本发明公开了一种底发射结构的垂直腔面发射激光器具有一基板，第一镜单元形成于基板上，有源区形成于第一镜单元上，第二镜单元形成于有源区上。柱体通过定向电感耦合等离子体反应离子蚀刻形成，且柱体曝露第一镜单元、有源区及第二镜单元的一部分，第一金...